半导体设备工艺与材料协同发展论坛举办 共探国产化新路径
一场聚焦半导体设备工艺与材料协同发展的论坛近日举办,来自产业链上下游的企业代表和行业专家,围绕设备国产化、材料创新与工艺协同等议题展开深入交流。
与会专家认为,半导体制造是一个高度协同的体系,设备与材料的匹配度直接影响产品良率和性能。随着先进制程不断推进,设备与材料协同创新的重要性日益凸显。
在论坛上,多家企业展示了在刻蚀、薄膜沉积、清洗等关键设备环节的国产化进展,以及光刻胶、电子特气、靶材等材料的创新成果,展现了产业链自主可控能力的持续提升。
专家指出,国产设备与材料企业应加强与晶圆厂的深度合作,围绕实际工艺需求开展联合攻关,加快从“可用”向“好用”跨越。
业内分析认为,在市场需求回暖和产业政策支持的背景下,半导体设备材料行业迎来发展机遇期,上下游协同创新将成为推动产业升级的重要引擎。
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